Handbook of advanced semiconductor technology and computer systems / edited by Guy Rabbat.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0442276885
• タイトル: Handbook of advanced semiconductor technology and computer systems / edited by Guy Rabbat.
• シリーズタイトル: Van Nostrand Reinhold electrical/computer science and engineering series
• 著者標目: Rabbat, Guy.
• 出版事項: New York : Van Nostrand Reinhold Co.
• 出版年月日等: c1988.
• 出版年（W3CDTF）: 1988
• 数量: xviii, 941 p. : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: 集積回路. Syusekikairo.; 電子計算機 (地理区分) Densikeisanki.; ディジタル計算機. Zizitarukeisanki.; Integrated circuits -- Design and construction.; Electronic digital computers -- Circuits -- Design and construction.
• LCC: TK7874
• DDC: 621.395
• NDLC: ND386
• 書誌注記: Includes bibliographies and index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: ND386-A13
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003167481; http://id.ndl.go.jp/bib/000003167481
• LC control number: 87006228; https://lccn.loc.gov/87006228
• 整理区分コード: 211

目次

Contents

Preface/ ix

1. Deposition for Microelectronics-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,/ 1

2. Etching-Applications and Trends of Dry Etching,/ 27

3. Oxidation Technology-The Application of High Pressure Oxidation to VLSI,/ 73