IONENSTRAHLLITHOGRAPHIE : ENTWICKLUNG EINES 1 : PROXIMITY PROJEKTIONSVERFAHRENS AUF DER BASIS VON CHANNELING-MASKEN

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: IONENSTRAHLLITHOGRAPHIE : ENTWICKLUNG EINES 1 : PROXIMITY PROJEKTIONSVERFAHRENS AUF DER BASIS VON CHANNELING-MASKEN
• 著者・編者: Csepregi, Laszlo.
• 著者標目: Csepregi, Laszlo.
• 出版事項: Berlin : Technische Universität Berlin
• 出版年月日等: 1986.
• 数量: 127p.
• 授与機関名: Technische Universität Berlin
• 授与年月日: 1986.
• 授与年月日（W3CDTF）: 1986
• 学位論文注記: 博士論文; Thesis (doctoral) --Technische Universität Berlin, 1986.
• 出版地（国名コード）: DE
• 本文の言語コード: ger
• 一般注記: Technical University of Berlin.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-DIGBE-1801
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003389536; http://id.ndl.go.jp/bib/000003389536
• 整理区分コード: 216