博士論文

IONENSTRAHLLITHOGRAPHIE : ENTWICKLUNG EINES 1 : PROXIMITY PROJEKTIONSVERFAHRENS AUF DER BASIS VON CHANNELING-MASKEN

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IONENSTRAHLLITHOGRAPHIE : ENTWICKLUNG EINES 1 : PROXIMITY PROJEKTIONSVERFAHRENS AUF DER BASIS VON CHANNELING-MASKEN

Call No. (NDL)
M-DIGBE-1801
Bibliographic ID of National Diet Library
000003389536
Material type
博士論文
Author
Csepregi, Laszlo.
Publisher
Technische Universität Berlin
Publication date
1986.
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
127p.
Name of awarding university/degree
Technische Universität Berlin
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Note (General)：

Technical University of Berlin.

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Paper

Material Type
博士論文
Title
IONENSTRAHLLITHOGRAPHIE : ENTWICKLUNG EINES 1 : PROXIMITY PROJEKTIONSVERFAHRENS AUF DER BASIS VON CHANNELING-MASKEN
Author/Editor
Csepregi, Laszlo.
Author Heading
Csepregi, Laszlo.
Publication, Distribution, etc.
Berlin : Technische Universität Berlin
Publication Date
1986.
Extent
127p.
Degree grantor/type
Technische Universität Berlin
Date Granted
1986.
Date Granted (W3CDTF)
1986