AUFLÖSUNGSGRENZEN BEI DER REPARATUR KLARER DEFEKTE AUF MASKEN FÜR DIE RÖNTGENSTRAHLLITHOGRAPHIE MITTELS LASERINDUZIERTER ABSCHEIDUNG

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: AUFLÖSUNGSGRENZEN BEI DER REPARATUR KLARER DEFEKTE AUF MASKEN FÜR DIE RÖNTGENSTRAHLLITHOGRAPHIE MITTELS LASERINDUZIERTER ABSCHEIDUNG
• 著者・編者: Putzar, Renate.
• 著者標目: Putzar, Renate.
• 出版事項: Berlin : Technische Universität Berlin
• 出版年月日等: 1991.
• 数量: 152p.
• 授与機関名: Technische Universität Berlin
• 授与年月日: 1991.
• 授与年月日（W3CDTF）: 1991
• 学位論文注記: 博士論文; Thesis (doctoral) --Technische Universität Berlin, 1991.
• 出版地（国名コード）: DE
• 本文の言語コード: ger
• 一般注記: Technical University of Berlin.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-DIGBE-2170
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003390108; http://id.ndl.go.jp/bib/000003390108
• 整理区分コード: 216