AUFLÖSUNGSGRENZEN BEI DER REPARATUR KLARER DEFEKTE AUF MASKEN FÜR DIE RÖNTGENSTRAHLLITHOGRAPHIE MITTELS LASERINDUZIERTER ABSCHEIDUNG

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Material Type: 博士論文
Title: AUFLÖSUNGSGRENZEN BEI DER REPARATUR KLARER DEFEKTE AUF MASKEN FÜR DIE RÖNTGENSTRAHLLITHOGRAPHIE MITTELS LASERINDUZIERTER ABSCHEIDUNG
Author/Editor: Putzar, Renate.
Author Heading: Putzar, Renate.
Publication, Distribution, etc.: Berlin : Technische Universität Berlin
Publication Date: 1991.
Extent: 152p.
Degree grantor/type: Technische Universität Berlin
Date Granted: 1991.
Date Granted (W3CDTF): 1991
Note (Dissertation): 博士論文
Thesis (doctoral) --Technische Universität Berlin, 1991.
Place of Publication (Country Code): DE
Text Language Code: ger
Note (General): Technical University of Berlin.
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: M-DIGBE-2170
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003390108
http://id.ndl.go.jp/bib/000003390108
Bibliographic Record Category (NDL): 216