Chemical mechanical planarization in IC device manufacturing III -- : Chemical mechanical planarization in IC device manufacturing : International symposium : 3rd : Oct 1999, Honolulu, HI. (PV ; 99-37)

Chemical mechanical planarization in IC device manufacturing III -- : Chemical mechanical planarization in IC device manufacturing : International symposium : 3rd : Oct 1999, Honolulu, HI.

(PV ; 99-37)

国立国会図書館請求記号: M17-01-3338
国立国会図書館書誌ID: 000003452061

資料種別: 図書

著者: Electrochemical Society.ほか

出版者: -

出版年: 2000.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: v.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers.Held as part of the 196th Meeting of the Electrochemical Society and 1999 Fall meeting of the Electrochemical Society of Japan.Index term: chem...

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 1566772605
タイトル: Chemical mechanical planarization in IC device manufacturing III -- : Chemical mechanical planarization in IC device manufacturing : International symposium : 3rd : Oct 1999, Honolulu, HI.
シリーズタイトル: PV ; 99-37
著者標目: Electrochemical Society.
Electrochemical Society of Japan.
出版年月日等: 2000.
出版年（W3CDTF）: 2000
数量: v.
並列タイトル等: Held as part of the 196th Meeting of the Electrochemical Society and 1999 Fall meeting of the Electrochemical Society of Japan
chemical mechanical planarization ; IC device manufacturing ; electrochemical
NDLC: M17
一般注記: Papers.
Held as part of the 196th Meeting of the Electrochemical Society and 1999 Fall meeting of the Electrochemical Society of Japan.
Index term: chemical mechanical planarization ; IC device manufacturing ; electrochemical.
BL shelfmark: 6695.400 vol 99-37 1999.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-01-3338
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003452061
http://id.ndl.go.jp/bib/000003452061
UKMARC番号: G07062128
整理区分コード: 215