ICMPC '88 : International conference on materials and process characterization for VLSI : Oct 1988, Shanghai, China.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 9971506882
• タイトル: ICMPC '88 : International conference on materials and process characterization for VLSI : Oct 1988, Shanghai, China.
• 著者標目: Chinese Institute of Electronics.; Fudan University.
• 出版事項: World Scientific
• 出版年月日等: 1988.
• 出版年（W3CDTF）: 1988
• 数量: v.
• 並列タイトル等: process characterization ; ICMPC ; VLSI ; materials
• NDLC: M17; ND
• 一般注記: Papers.; Index term: process characterization ; ICMPC ; VLSI ; materials.; BL shelfmark: 5394.1015 1988.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-88-2347
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003473073; http://id.ndl.go.jp/bib/000003473073
• UKMARC番号: G01164041
• 整理区分コード: 215