Semiconductor fabrication : technology and metrology : 5th International symposium on semiconductor processing : Feb 1988, Santa Clara, CA. (ASTM Special Technical Publication ; 990)

Semiconductor fabrication : technology and metrology : 5th International symposium on semiconductor processing : Feb 1988, Santa Clara, CA.

(ASTM Special Technical Publication ; 990)

国立国会図書館請求記号: M17-89-2550
国立国会図書館書誌ID: 000003476609

資料種別: 図書

著者: American Society for Testing and Materials. Committee F-1 on Electronics.ほか

出版者: ASTM

出版年: c1989.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: v.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers.Index term: semiconductor processing ; semiconductor fabrication ; ASTM.BL shelfmark: 1747.090 vol 990 1989.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0803112734
タイトル: Semiconductor fabrication : technology and metrology : 5th International symposium on semiconductor processing : Feb 1988, Santa Clara, CA.
シリーズタイトル: ASTM Special Technical Publication ; 990
著者標目: American Society for Testing and Materials. Committee F-1 on Electronics.
Semiconductor Equipment and Materials Institute.
National Institute for Standards and Technology.
出版事項: Philadelphia, PA : ASTM
出版年月日等: c1989.
出版年（W3CDTF）: 1989
数量: v.
並列タイトル等: semiconductor processing ; semiconductor fabrication ; ASTM
NDLC: M17
ND
一般注記: Papers.
Index term: semiconductor processing ; semiconductor fabrication ; ASTM.
BL shelfmark: 1747.090 vol 990 1989.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-89-2550
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003476609
http://id.ndl.go.jp/bib/000003476609
UKMARC番号: G01220128
整理区分コード: 215