Multichamber and in-situ processing of electronic materials : Conference : Oct 1989, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 1188)

Multichamber and in-situ processing of electronic materials : Conference : Oct 1989, Santa Clara, CA.

(SPIE Proceedings ; 1188)

資料に関する注記

一般注記：: Papers.Index term: SPIE ; MULTICHAMBER PROCESSING ; IN SITU PROCESSING ; ELECTRONIC MATERIALS ; SEMATECH.BL shelfmark: 6823.100 vol 1188 1990.

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資料種別: 図書
ISBN: 0819402249 (pbk)
タイトル: Multichamber and in-situ processing of electronic materials : Conference : Oct 1989, Santa Clara, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 1188
著者標目: SPIE-The International Society for Optical Engineering.
SEMATECH.
出版事項: SPIE
出版年月日等: 1990.
出版年（W3CDTF）: 1990
数量: v.
並列タイトル等: SPIE ; MULTICHAMBER PROCESSING ; IN SITU PROCESSING ; ELECTRONIC MATERIALS ; SEMATECH
NDLC: M17
ND
一般注記: Papers.
Index term: SPIE ; MULTICHAMBER PROCESSING ; IN SITU PROCESSING ; ELECTRONIC MATERIALS ; SEMATECH.
BL shelfmark: 6823.100 vol 1188 1990.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-90-1201
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003478653
http://id.ndl.go.jp/bib/000003478653
UKMARC番号: G01345922
整理区分コード: 215