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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 0780304977 (softbound)0780304985 (casebound)0780304993 (microfiche)
- 著者標目
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1992.
- 出版年(W3CDTF)
- 1992
- 数量
- v.
- 並列タイトル等
- Held on fiche. Also known as MEMS '92. IEEE cat no 92CM3093-2micro electro mechanical systems ; IEEE ; MEMS
- 資料種別(注記)
- [microform]