Contamination control and defect reduction in semiconductor manufacturing 2 : 2nd Symposium : May 1993, Honolulu, HI.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1566770653 (pbk)
• タイトル: Contamination control and defect reduction in semiconductor manufacturing 2 : 2nd Symposium : May 1993, Honolulu, HI.
• シリーズタイトル: PV ; 94-3
• 著者標目: Electrochemical Society. Electronics Division.; Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division.; Electrochemical Society of Japan.; Japan Society of Applied Physics (JSAP)
• 出版事項: Pennington, NJ : Electrochemical Society
• 出版年月日等: 1994.
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: v.
• 並列タイトル等: Held at the Electrochemical spring meeting; contamination control ; defect reduction ; semiconductor manufacturing ; electrochemical
• NDLC: M17; ND
• 一般注記: Papers.; Held at the Electrochemical spring meeting.; Index term: contamination control ; defect reduction ; semiconductor manufacturing ; electrochemical.; BL shelfmark: 6695.400 vol 94-3 1994.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-94-2304
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003495282; http://id.ndl.go.jp/bib/000003495282
• UKMARC番号: G02239047
• 整理区分コード: 215