Soft X-ray projection lithography : Topical meeting : May 1993, Monterey, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1557523045
• タイトル: Soft X-ray projection lithography : Topical meeting : May 1993, Monterey, CA.
• シリーズタイトル: OSA Proceedings Series ; 18
• 著者標目: Optical Society of America.
• 出版事項: Optical Society of America
• 出版年月日等: c1993.
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: v.
• 並列タイトル等: SXPL is short for soft X-ray projection lithography; soft x ray projection lithography ; OSA ; SXPL
• NDLC: M17; ND
• 一般注記: Selected papers and summaries.; SXPL is short for soft X-ray projection lithography.; Index term: soft x ray projection lithography ; OSA ; SXPL.; BL shelfmark: 6296.798465 vol 18 1993.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-95-1675
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003498009; http://id.ndl.go.jp/bib/000003498009
• UKMARC番号: G02181144
• 整理区分コード: 215