Microlithography and metrology in micromachining 2 : 2nd Annual conference : Oct 1996, Austin, TX. (SPIE Proceedings ; 2880)

Microlithography and metrology in micromachining 2 : 2nd Annual conference : Oct 1996, Austin, TX.

(SPIE Proceedings ; 2880)

資料に関する注記

一般注記：: Papers.Index term: microlithography ; metrology ; SPIE ; micromachining.

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資料種別: 図書
ISBN: 0819422789
タイトル: Microlithography and metrology in micromachining 2 : 2nd Annual conference : Oct 1996, Austin, TX.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 2880
著者標目: SPIE-The International Society for Optical Engineering.
Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
National Institute of Standards and Technology (NIST)
数量: v.
並列タイトル等: microlithography ; metrology ; SPIE ; micromachining
NDLC: M17
NB
一般注記: Papers.
Index term: microlithography ; metrology ; SPIE ; micromachining.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-96-2195
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003501436
http://id.ndl.go.jp/bib/000003501436
整理区分コード: 215