Chemical mechanical planarization 1 : 1st International symposium on chemical mechanical planarization in IC device manufacturing : ------. (PV ; 96-22)

Chemical mechanical planarization 1 : 1st International symposium on chemical mechanical planarization in IC device manufacturing : ------.

(PV ; 96-22)

国立国会図書館請求記号: M17-97-1355
国立国会図書館書誌ID: 000003503596

資料種別: 図書

著者: Electrochemical Society. Electronics Division.ほか

出版者: Electrochemical Society

出版年: 1997.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: v.

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: Selected papers.Published in 1997.Index term: chemical mechanical planarization ; IC device manufacturing ; electrochemical....

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
ISBN: 1566771722
タイトル: Chemical mechanical planarization 1 : 1st International symposium on chemical mechanical planarization in IC device manufacturing : ------.
タイトルよみ: Chemical mechanical planarization 1 : ------.
シリーズタイトル: PV ; 96-22
著者標目: Electrochemical Society. Electronics Division.
Electrochemical Society. Dielectric Science and Technology Division.
出版事項: Pennington, NJ : Electrochemical Society
出版年月日等: 1997.
出版年（W3CDTF）: 1997
数量: v.
並列タイトル等: Published in 1997
chemical mechanical planarization ; IC device manufacturing ; electrochemical
NDLC: M17
ND
一般注記: Selected papers.
Published in 1997.
Index term: chemical mechanical planarization ; IC device manufacturing ; electrochemical.
BL shelfmark: 6695.400 vol 96-22 1997.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-97-1355
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003503596
http://id.ndl.go.jp/bib/000003503596
UKMARC番号: G05300707
整理区分コード: 215