Emerging lithographic technologies 3 : Conference : Mar 1999, Santa Clara, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819431508 (pbk)
• ISSN: 0277-786X
• タイトル: Emerging lithographic technologies 3 : Conference : Mar 1999, Santa Clara, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 3676
• 著者標目: SPIE-The International Society for Optical Engineering.
• 出版事項: SPIE
• 出版年月日等: 1999.
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: v.
• 並列タイトル等: In 2 parts; emerging lithographic technologies ; SPIE ; lithographic technologies
• NDLC: M17; ND
• 一般注記: Selected papers.; In 2 parts.; Index term: emerging lithographic technologies ; SPIE ; lithographic technologies.; BL shelfmark: 6823.100 vol 3676 1999.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-99-1739
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003509284; http://id.ndl.go.jp/bib/000003509284
• UKMARC番号: G05612742
• 整理区分コード: 215