Device and process technologies for MEMS and microelectronics : Conference : Oct 1999, ------.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819434930
• ISSN: 0277-786X
• タイトル: Device and process technologies for MEMS and microelectronics : Conference : Oct 1999, ------.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 3892
• 著者標目: SPIE-The International Society for Optical Engineering.; IREE Society.; Queensland Government State Development.
• 出版事項: SPIE
• 出版年月日等: 1999.
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: v.
• 並列タイトル等: Held at the Royal Pines Resort, Queensland, Australia; microelectronics ; SPIE ; MEMS ; device
• NDLC: M17; ND
• 一般注記: Papers and abstract.; Held at the Royal Pines Resort, Queensland, Australia.; Index term: microelectronics ; SPIE ; MEMS ; device.; BL shelfmark: 6823.100 vol 3892 1999.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-00-0831
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003510648; http://id.ndl.go.jp/bib/000003510648
• UKMARC番号: G05936757
• 整理区分コード: 215