Transmission electron microscopy study on failure analysis of semiconductor devices

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Transmission electron microscopy study on failure analysis of semiconductor devices
• 著者・編者: Naoko Kato [著]
• 著者標目: 加藤, 直子 カトウ, ナオコ
• 出版事項: [Naoko Kato]
• 出版年月日等: [2002]
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 透過型電子顕微鏡を用いた半導体の故障解析に関する研究 トウカガタ デンシ ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ ノ コショウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成14年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2002
• 報告番号: 甲第5471号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2002-D734
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003535218; http://id.ndl.go.jp/bib/000003535218
• 整理区分コード: 213