Transmission electron microscopy study on failure analysis of semiconductor devices

• Material Type: 博士論文
• Title: Transmission electron microscopy study on failure analysis of semiconductor devices
• Author/Editor: Naoko Kato [著]
• Author Heading: 加藤, 直子 カトウ, ナオコ
• Publication, Distribution, etc.: [Naoko Kato]
• Publication Date: [2002]
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 透過型電子顕微鏡を用いた半導体の故障解析に関する研究 トウカガタ デンシ ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ ノ コショウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 名古屋大学
• Date Granted: 平成14年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2002
• Dissertation Number: 甲第5471号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2002-D734
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000003535218; http://id.ndl.go.jp/bib/000003535218
• Bibliographic Record Category (NDL): 213