Tensile testing of thin films using electrostatic force grip

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Tensile testing of thin films using electrostatic force grip
• 著者・編者: 土屋智由 [著]
• 著者標目: 土屋, 智由 ツチヤ, トシユキ
• 出版事項: [土屋智由]
• 出版年月日等: [2002]
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 静電チャックを用いた薄膜引張試験 セイデン チャック オ モチイタ ハクマク ヒッパリ シケン
• 授与機関名: 名古屋大学
• 授与年月日: 平成14年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2002
• 報告番号: 甲第5480号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2002-D743
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003535227; http://id.ndl.go.jp/bib/000003535227
• 整理区分コード: 213