シリコン単結晶成長過程における点欠陥拡散および二次欠陥形成に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: シリコン単結晶成長過程における点欠陥拡散および二次欠陥形成に関する研究
• タイトルよみ: シリコン タンケッショウ セイチョウ カテイ ニ オケル テンケッカン カクサン オヨビ ニジ ケッカン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 中村浩三 [著]
• 著者標目: 中村, 浩三 ナカムラ, コウゾウ
• 出版事項: [中村浩三]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 東北大学
• 授与年月日: 平成13年4月18日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 乙第8052号
• 学位: 博士 (理学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2002-M746
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003543491; http://id.ndl.go.jp/bib/000003543491
• 整理区分コード: 213