シリコン単結晶成長過程における点欠陥拡散および二次欠陥形成に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: シリコン単結晶成長過程における点欠陥拡散および二次欠陥形成に関する研究
Title Transcription: シリコンタンケッショウセイチョウカテイニオケルテンケッカンカクサンオヨビニジケッカンケイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中村浩三 [著]
Author Heading: 中村, 浩三ナカムラ, コウゾウ
Publication, Distribution, etc.: [中村浩三]
Publication Date: 2001
Publication Date (W3CDTF): 2001
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成13年4月18日
Date Granted (W3CDTF): 2001
Dissertation Number: 乙第8052号
Degree Type: 博士 (理学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2002-M746
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000003543491
http://id.ndl.go.jp/bib/000003543491
Bibliographic Record Category (NDL): 213