Seiken Symposium on micro/nano mechatronics

• 資料種別: 図書
• タイトル: Seiken Symposium on micro/nano mechatronics
• シリーズタイトル: Seiken Symposium ; no.30
• 著者標目: 東京大学生産技術研究所 トウキョウ ダイガク セイサン ギジュツ ケンキュウジョ ( 00273922 )典拠
• 出版事項: [Tokyo] : [Institute of Industrial Science, the University of Tokyo]
• 出版年月日等: 2002
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 153p
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: マイクロ・ナノメカトロニクスの世界 マイクロ ナノ メカトロニクス ノ セカイ
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: M18; NB21
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: Held at Institute of Industrial Science, the University of Tokyo, Mar.25-26, 2002
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M18-B82
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000003586392; http://id.ndl.go.jp/bib/000003586392
• 全国書誌番号: 20421419
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 113

目次

Day-1: March 25th, 2002, Monday

9:40-10:00 Opening Remark/ 5

10:00-12:00 Session-1: Micromachining and Microinspection/ 9

10:00-10:40 "Drilling and Milling of Brittle Materials Using a Micro Cutting Tool"/ 11

10:40-11:20 "Current capabilities of LIGA-based processing as alternative microfabrication technique for high-aspect-ratio MEMS"/ 16