3rd workshop on physical chemistry of wet etching of silicon

著者: Program Committee, workshop on physical chemistry of wet etching of silicon

出版者: [Program Committee, 3rd workshop on physical chemistry of wet etching of silicon]

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資料種別: 図書
タイトル: 3rd workshop on physical chemistry of wet etching of silicon
著者標目: Program Committee, workshop on physical chemistry of wet etching of silicon ( 00916596 )典拠
出版事項: [Nara] : [Program Committee, 3rd workshop on physical chemistry of wet etching of silicon]
出版年月日等: [2002]
出版年（W3CDTF）: 2002
数量: 83p
大きさ: 30cm
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
NDLC: M18
ND371
対象利用者: 一般
一般注記: Held at Nara Prefectural New Auditorium, June 4-6, 2002
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M18-B47
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003587672
http://id.ndl.go.jp/bib/000003587672
全国書誌番号: 20407691
目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
整理区分コード: 113