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目次
第1部 光マイクロマシン
1章 光スイッチ，ミラーアレイ，減衰器/ 1
1・1 GLV，MARSスイッチ，DMD応用スイッチなどオンオフMEMSスイッチ/ 4
1・2 RIEのみで作製したスイッチ/ 5
1・3 ファイバ，導波路駆動スイッチ/ 6
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北日本
宮城県図書館
紙- 請求記号：
- 549.95/2002.Y
- 図書登録番号：
- 1008198739
山形県立図書館
紙- 請求記号：
- 549.95-ｻﾜ
- 図書登録番号：
- 105647926
関東
千葉県立中央図書館
紙- 請求記号：
- 54995/ 28/
- 図書登録番号：
- 0105721710
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.9-5055-2002
- 図書登録番号：
- 5006060462
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 535.8-19
- 図書登録番号：
- 80984560
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