資料詳細
要約等：
- 設計・製造できる技術者を育成するのに最適（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
著者紹介：
- 濱口 智尋 高知工科大学客員教授 大阪大学名誉教授谷口 研二 大阪大学大学院工学研究科教授島 亨 株式会社小松製作所常任顧問...
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目次
"序論 半導体産業について（はじめに／半導体産業の経済的側面について／半導体産業の成長性／半導体の技術的トレンド／知的財産権／まとめ）
１章 集積回路の製造プロセス （集積回路のできるまで／ＣＭＯＳＳ集積回路の製造工程)
２章 設計技術 (ロジックデバイス設計技術／メモリデバイス設計技術)
３章 ＭＯＳ技術 (ＭＯＳの物理／ＭＯＳＦＥＴ技術)
４章 プロセス技術 (リングラフィ技術／ドライエッチング技術／酸化技術／拡散技術／成膜技術／ＴＣＡＤ技術)
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関東
埼玉県立久喜図書館
紙- 請求記号：
- 549.7-ｼﾕ
- 図書登録番号：
- 101154086
東海・北陸
名古屋市図書館
紙- 請求記号：
- 5497//
- 図書登録番号：
- 0234068302
近畿
滋賀県立図書館
紙- 請求記号：
- 3-5497-ｼ
- 図書登録番号：
- 129495412
大阪府立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.7/85N/
- 図書登録番号：
- 1114464603
大阪市立図書館
紙- 図書登録番号：
- 0010286425
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 4-87259-074-0
- タイトル
- タイトルよみ
- シユウセキ カイロ コウガク ガイロン
- 著者・編者
- 濱口智尋, 谷口研二 監修島亨, 有門経敏 著
- 著者標目
- 浜口, 智尋, 1937- ハマグチ, チヒロ, 1937- ( 00006690 )典拠谷口, 研二, 1948- タニクチ, ケンジ, 1948- ( 00176969 )典拠島, 亨, 1935- シマ, トオル, 1935- ( 00902047 )典拠有門, 経敏, 1951- アリカド, ツネトシ, 1951- ( 00902049 )典拠
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002.4
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 199p