集積回路工学概論

• Material Type: 図書
• ISBN: 4-87259-074-0
• Title: 集積回路工学概論
• Title Transcription: シユウセキ カイロ コウガク ガイロン
• Author/Editor: 濱口智尋, 谷口研二 監修; 島亨, 有門経敏 著
• Author Heading: 浜口, 智尋, 1937- ハマグチ, チヒロ, 1937- ( 00006690 )Authorities; 谷口, 研二, 1948- タニクチ, ケンジ, 1948- ( 00176969 )Authorities; 島, 亨, 1935- シマ, トオル, 1935- ( 00902047 )Authorities; 有門, 経敏, 1951- アリカド, ツネトシ, 1951- ( 00902049 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: 吹田 : 大阪大学出版会
• Publication Date: 2002.4
• Publication Date (W3CDTF): 2002
• Extent: 199p
• Size: 21cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 集積回路 シュウセキカイロ ( 00572448 )Authorities
• NDC 9th ed.: 549.7 : Electronic engineering
• NDLC: ND386
• Target Audience: 一般
• Price: 2500円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: ND386-H7
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000003979909; http://id.ndl.go.jp/bib/000003979909
• National Bibliography No. (JPNO): 20354374
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Summary, etc.: 最新の半導体工学の重要な部分を現場における知識を含めて実際的に概説(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
• Author introduction: 濱口智尋 1937年 三重県伊勢市生まれ 1966年 大阪大学大学院工学研究科 電気工学専攻博士課程修了 現在 高知工科大学客員教授 大阪大学名誉教授谷口研二 1948年 愛媛県東宇和郡生まれ 1973年 大阪大学大学院工学研究科 電子工学専攻修士課程修了 現在 大阪大学大学院工...

Table of Contents

"序論 半導体産業について（はじめに／半導体産業の経済的側面について／半導体産業の成長性／半導体の技術的トレンド／知的財産権／まとめ）

１章 集積回路の製造プロセス　（集積回路のできるまで／ＣＭＯＳＳ集積回路の製造工程)

２章 設計技術　(ロジックデバイス設計技術／メモリデバイス設計技術)

３章 ＭＯＳ技術　(ＭＯＳの物理／ＭＯＳＦＥＴ技術)

４章 プロセス技術　(リングラフィ技術／ドライエッチング技術／酸化技術／拡散技術／成膜技術／ＴＣＡＤ技術)