10th IEEE international conference on advanced thermal processing of semiconductors -- RTP 2002 : September 25-27, 2002, the Coast Plaza Hotel, Vancouver, Canada. : Sep 2002, Vancouver, Canada.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0780374657
• タイトル: 10th IEEE international conference on advanced thermal processing of semiconductors -- RTP 2002 : September 25-27, 2002, the Coast Plaza Hotel, Vancouver, Canada. : Sep 2002, Vancouver, Canada.
• 著者標目: Gelpey, Jeffrey C.; International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors (10th : 2002 : Vancouver, B.C.)
• 出版事項: Piscataway : IEEE
• 出版年月日等: c2002.
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: [ix], 241 p. : ill. ; 28 cm.
• 並列タイトル等: RTP 2002
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductors -- Heat treatment -- Congresses.; Rapid thermal processing -- Congresses.; Semiconductor doping -- Congresses.; Semiconductors -- Defects -- Congresses.; Internet resources.
• NDLC: M17
• 一般注記: Program and papers.; Related URL: http: //ieeexplore.ieee.org/Xplore/RecentCon.jsp?Punumber=8060.; IEEE cat no 02EX574.
• 書誌注記: Includes bibliographic references.
• 別の媒体に関する注記: Full text also available on the internet to registered users.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-455
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004012284; http://id.ndl.go.jp/bib/000004012284
• LC control number: 2002103269; https://lccn.loc.gov/2002103269
• RLIN番号: CSUGA5079935-B
• 整理区分コード: 215