2002 7th international symposium on plasma- and process-induced damage : June 5-7, 2002, Maui, Hawaii, USA. : Jun 2002, ------.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0965157776 (softbound); 0965157784 (CD-ROM)
• タイトル: 2002 7th international symposium on plasma- and process-induced damage : June 5-7, 2002, Maui, Hawaii, USA. : Jun 2002, ------.
• 著者標目: Hook, Terence.; Eriguchi, Koji.; Gabriel, Calvin T.; International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (7th : 2002 : Maui, Hawaii)
• 出版事項: Santa Clara : AVS
• 出版年月日等: c2002.
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: [6], i, 177 p. : ill. ; 28 cm.
• 並列タイトル等: P[2]ID
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductor wafers -- Congresses.; Semiconductors -- Effect of radiation on -- Congresses.; Plasma radiation -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers and a discussion.; Held at Maui Islands, Hawaii.; Some previous symposia entitled: International Symposium on Plasma Induced-Damage.; IEEE cat no. (softbound) 02TH8582 : IEEE cat no (CD-ROM) 02TH8582C.
• 書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-468
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004012576; http://id.ndl.go.jp/bib/000004012576
• RLIN番号: NYCXV4419797-B
• 整理区分コード: 215