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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- タンケッショウ Si ヒョウメン ノ ショキ サンカ カテイ オヨビ ショキ タンカ カテイ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 池田正則 [著]
- 著者標目
- 池田, 正則 イケダ, マサノリ
- 出版事項
- 出版年月日等
- [2002]
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Studies of initial oxidation processes and initial carbonization processes on silicon single crystal surfaces