RFスパッタ法により作成したナノ結晶合金膜の力学特性および熱的安定性に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: RFスパッタ法により作成したナノ結晶合金膜の力学特性および熱的安定性に関する研究
• タイトルよみ: RF スパッタホウ ニ ヨリ サクセイシタ ナノ ケッショウ ゴウキンマク ノ リキガク トクセイ オヨビ ネツテキ アンテイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 森正和 [著]
• 著者標目: 森, 正和 モリ, マサカズ
• 出版事項: [森正和]
• 出版年月日等: 2002
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成14年9月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2002
• 報告番号: 甲第8772号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2003-B797
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004055946; http://id.ndl.go.jp/bib/000004055946
• 整理区分コード: 213