RFスパッタ法により作成したナノ結晶合金膜の力学特性および熱的安定性に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: RFスパッタ法により作成したナノ結晶合金膜の力学特性および熱的安定性に関する研究
Title Transcription: RF スパッタホウニヨリサクセイシタナノケッショウゴウキンマクノリキガクトクセイオヨビネツテキアンテイセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 森正和 [著]
Author Heading: 森, 正和モリ, マサカズ
Publication, Distribution, etc.: [森正和]
Publication Date: 2002
Publication Date (W3CDTF): 2002
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成14年9月25日
Date Granted (W3CDTF): 2002
Dissertation Number: 甲第8772号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2003-B797
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000004055946
http://id.ndl.go.jp/bib/000004055946
Bibliographic Record Category (NDL): 213