Micromachining technology for micro-optics and nano-optics : 28-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA. (SPIE Proceedings ; 4984)

Micromachining technology for micro-optics and nano-optics : 28-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA.

(SPIE Proceedings ; 4984)

国立国会図書館請求記号: M17-03-1602
国立国会図書館書誌ID: 000004102029

資料種別: 図書

著者: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)ほか

出版者: SPIE

出版年: c2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xlii, 262 p. : ill. ; 28 cm.

NDC: -

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 0819447846
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Micromachining technology for micro-optics and nano-optics : 28-29 January 2003 : San Jose, California, USA. : Jan 2003, San Jose, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4984
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4984.
著者標目: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
Lee, S. H. (Sing H.) , 1939-
Johnson, Eric G.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: xlii, 262 p. : ill. ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Integrated optics -- Congresses.
Miniature electronic equipment -- Design and construction -- Congresses.
Optoelectronic devices -- Design and construction -- Congresses.
Micromachining -- Congresses.
Microelectromechanical systems -- Congresses.
Nanotechnology -- Congresses.
LCC: TA1660
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-1602
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004102029
http://id.ndl.go.jp/bib/000004102029
RLIN番号: CTYA6178494-S
整理区分コード: 215