Study of particle transport in high pressure sputter deposition process

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Study of particle transport in high pressure sputter deposition process
• 著者・編者: 中野武雄 [著]
• 著者標目: 中野, 武雄 ナカノ, タケオ
• 出版事項: [中野武雄]
• 出版年月日等: 2001
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究 コウアツ スパッタ セイマク プロセス ニ オケル リュウシ ユソウ カテイ ノ ケンキュウ
• 授与機関名: 東京大学
• 授与年月日: 平成13年12月14日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2001
• 報告番号: 乙第15210号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2003-D193
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004106142; http://id.ndl.go.jp/bib/000004106142
• 整理区分コード: 213