Study of particle transport in high pressure sputter deposition process

• Material Type: 博士論文
• Title: Study of particle transport in high pressure sputter deposition process
• Author/Editor: 中野武雄 [著]
• Author Heading: 中野, 武雄 ナカノ, タケオ
• Publication, Distribution, etc.: [中野武雄]
• Publication Date: 2001
• Publication Date (W3CDTF): 2001
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究 コウアツ スパッタ セイマク プロセス ニ オケル リュウシ ユソウ カテイ ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成13年12月14日
• Date Granted (W3CDTF): 2001
• Dissertation Number: 乙第15210号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2003-D193
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004106142; http://id.ndl.go.jp/bib/000004106142
• Bibliographic Record Category (NDL): 213