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Technical digest of the 16th International Vacuum Microelectronics Conference : IVMC 2003

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Technical digest of the 16th International Vacuum Microelectronics Conference : IVMC 2003

国立国会図書館請求記号
M18-B202
国立国会図書館書誌ID
000004180407
資料種別
図書
著者
edited by Mikio Takai, Yasuhito Gotoh, Junzo Ishikawaほか
出版者
[Organizing Committee]
出版年
2003
資料形態
ページ数・大きさ等
314p ; 30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Held at Senri Life Science Center, Toyonaka, July 7-11, 2003

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
4-8181-9515-4
著者・編者
edited by Mikio Takai, Yasuhito Gotoh, Junzo Ishikawa
[organized by] 158th Committee Nanoelectronics, Japan Society for the Promotion of Sciencs, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
著者標目
高井, 幹夫, 1949- タカイ, ミキオ, 1949- ( 00930706 )典拠
後藤, 康仁, 1962- ゴトウ, ヤスヒト, 1962- ( 00930707 )典拠
石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )典拠
日本学術振興会 ニホン ガクジュツ シンコウカイ ( 00257279 )典拠
産業技術総合研究所 サンギョウ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ ( 00873736 )典拠
出版年月日等
2003
出版年(W3CDTF)
2003
数量
314p
大きさ
30cm