Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices 3 : symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A. : Symposium EE, "Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices 3" : Nov 2000, Boston, MA. (Materials Research Society Symposia Proceedings ; 657)

Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices 3 : symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A. : Symposium EE, "Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices 3" : Nov 2000, Boston, MA.

(Materials Research Society Symposia Proceedings ; 657)

国立国会図書館請求記号: M17-03-2073
国立国会図書館書誌ID: 000004182763

資料種別: 図書

著者: Kahn, Harold.

出版者: Materials Research Society

出版年: c2001.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 1 v. (various pagings) : ill ; 24 cm.

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Papers.Held at the 2000 MRS fall meeting in Boston, Massachusetts.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 1558995676
タイトル: Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices 3 : symposium held November 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A. : Symposium EE, "Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices 3" : Nov 2000, Boston, MA.
シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 657
タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 657.
著者標目: Kahn, Harold.
出版事項: Warrendale : Materials Research Society
出版年月日等: c2001.
出版年（W3CDTF）: 2001
数量: 1 v. (various pagings) : ill ; 24 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Microelectromechanical systems -- Materials -- Congresses.
LCC: TK7875
DDC: 621.381
NDLC: M17
一般注記: Papers.
Held at the 2000 MRS fall meeting in Boston, Massachusetts.
書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-2073
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004182763
http://id.ndl.go.jp/bib/000004182763
LC control number: 2001044289
https://lccn.loc.gov/2001044289
RLIN番号: NJRGA1659179-B
整理区分コード: 215