Smart sensors, actuators, and MEMS : 19-21 May 2003 : Maspalomas, Gran Canaria, Spain. : May 2003, Maspalomas, Spain.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819449768
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Smart sensors, actuators, and MEMS : 19-21 May 2003 : Maspalomas, Gran Canaria, Spain. : May 2003, Maspalomas, Spain.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 5116
• タイトル標目: Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; v. 5116.
• 著者標目: Las Palmas University Foundation.; Chiao, Jung-Chih.; Varadan, V. K., 1943-; Cané, Carles.; Sociedad Española de Optica (SEDO)
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2003.
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 2 v. : ill. (some col.) ; 28 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectromechanical systems -- Congresses.; Microtechnology -- Congresses.; Actuators -- Industrial applications -- Congresses.; Detectors -- Industrial applications -- Congresses.; Scanning systems -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-04-121
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004190256; http://id.ndl.go.jp/bib/000004190256
• RLIN番号: GAEGO52604958-B
• 整理区分コード: 215