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2003 IEEE/SEMI advanced semiconductor manufacturing conference and workshop : "advancing the science of semiconductor manufacturing excellence" : ASMC 2003 proceedings : 31 March-1 April, 2003 : Munich, Germany. : Mar 2003, Munich, Germany.

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2003 IEEE/SEMI advanced semiconductor manufacturing conference and workshop : "advancing the science of semiconductor manufacturing excellence" : ASMC 2003 proceedings : 31 March-1 April, 2003 : Munich, Germany. : Mar 2003, Munich, Germany.

国立国会図書館請求記号
M17-04-212
国立国会図書館書誌ID
000004190370
資料種別
図書
著者
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop (14th : 2003 : Munich, Germany)
出版者
IEEE
出版年
c2003.
資料形態
ページ数・大きさ等
iv, 330 p. : ill. ; 30 cm.
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

Papers."Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop : World Class Manufacturing" -- on t. p.IEEE cat no 03CH37406.

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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
0780376730
ISSN
1078-8743
出版年月日等
c2003.
出版年(W3CDTF)
2003
数量
iv, 330 p. : ill. ; 30 cm.
並列タイトル等
ASMC 2003 : the 14th annual IEEE/SEMI advanced semiconductor manufacturing conference and workshop (ASMC) 2003 : advancing the science and technology of semiconductor manufacturing : 31 March-1 April : International Congress Centre : Munich, Germany