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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- ISBN
- 0780376730
- ISSN
- 1078-8743
- 出版年月日等
- c2003.
- 出版年(W3CDTF)
- 2003
- 数量
- iv, 330 p. : ill. ; 30 cm.
- 並列タイトル等
- ASMC 2003 : the 14th annual IEEE/SEMI advanced semiconductor manufacturing conference and workshop (ASMC) 2003 : advancing the science and technology of semiconductor manufacturing : 31 March-1 April : International Congress Centre : Munich, Germany