Device and process technologies for MEMS and microelectronics 2 : 17-19 December 2001 : Adelaide, Australia. : SPIE's symposium on microtechnology and MEMS : Dec 2001, Adelaide, Australia.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819443220
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Device and process technologies for MEMS and microelectronics 2 : 17-19 December 2001 : Adelaide, Australia. : SPIE's symposium on microtechnology and MEMS : Dec 2001, Adelaide, Australia.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4592
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4592.
• 著者標目: Institute of Electrical and Electronics Engineers. South Australia Section.; Chiao, Jung-Chih.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2001.
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: xi, 538 p. : ill. ; 28 cm.
• 付属資料: Errata sheet has tipped in.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Microelectromechanical systems -- Congresses.; Photon detectors -- Design and construction -- Congresses.; Photomechanical processes -- Congresses.; Photolithography -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographic references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-3033
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004200597; http://id.ndl.go.jp/bib/000004200597
• RLIN番号: CSUGA4756148-B
• 整理区分コード: 215