Gate stack and silicide issues in silicon processing 2 : symposium held April 17-19, 2001, San Francisco, California, U.S.A. : 2001 MRS spring meeting : Apr 2001, San Francisco, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 1558996060
• タイトル: Gate stack and silicide issues in silicon processing 2 : symposium held April 17-19, 2001, San Francisco, California, U.S.A. : 2001 MRS spring meeting : Apr 2001, San Francisco, CA.
• シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 670
• タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings.
• 著者標目: Campbell, S. A.
• 出版事項: Warrendale : Materials Research Society
• 出版年月日等: c2002.
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: 1 v. (various paging) : ill. ; 24 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Materials -- Congresses.; Silicides -- Congresses.; Gate array circuits -- Congresses.; Electric leakage -- Congresses.
• LCC: TK7874.76
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-3583
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004201935; http://id.ndl.go.jp/bib/000004201935
• LC control number: 2002141577; https://lccn.loc.gov/2002141577
• RLIN番号: PATGB24749412-B
• 整理区分コード: 215