Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films
• 著者・編者: 加藤宙光 [著]
• 著者標目: 加藤, 宙光 カトウ, ヒロミツ
• 出版事項: [加藤宙光]
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 1冊
• 並列タイトル等: 非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性 ヒショウシツ シリコンサン チッカマク オヨビ シリコン チッカマク ニ オケル コウゾウ ケッカン ノ コウガクテキ ナラビニ デンキテキ ブッセイ
• 授与機関名: 早稲田大学
• 授与年月日: 平成15年3月15日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2003
• 報告番号: 甲第1750号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2003-J96
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004204895; http://id.ndl.go.jp/bib/000004204895
• 整理区分コード: 213