Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films

• Material Type: 博士論文
• Title: Optical and electrical properties of structural defects in amorphous silicon oxynitride and silicon nitride films
• Author/Editor: 加藤宙光 [著]
• Author Heading: 加藤, 宙光 カトウ, ヒロミツ
• Publication, Distribution, etc.: [加藤宙光]
• Publication Date: 2003
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 非晶質シリコン酸窒化膜およびシリコン窒化膜における構造欠陥の光学的ならびに電気的物性 ヒショウシツ シリコンサン チッカマク オヨビ シリコン チッカマク ニ オケル コウゾウ ケッカン ノ コウガクテキ ナラビニ デンキテキ ブッセイ
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成15年3月15日
• Date Granted (W3CDTF): 2003
• Dissertation Number: 甲第1750号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2003-J96
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000004204895; http://id.ndl.go.jp/bib/000004204895
• Bibliographic Record Category (NDL): 213