Process and materials characterization and diagnostics in IC manufacturing : 27-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA. (SPIE Proceedings ; 5041)

Process and materials characterization and diagnostics in IC manufacturing : 27-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA.

(SPIE Proceedings ; 5041)

国立国会図書館請求記号: M17-04-489
国立国会図書館書誌ID: 000004205047

資料種別: 図書

著者: Tobin, Kenneth W.ほか

出版者: SPIE

出版年: c2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: x, 222 p. : ill. (some col.) ; 28 cm.

NDC: -

すべて見る

資料に関する注記

一般注記：: Papers.

書店で探す

全国の図書館の所蔵

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

連携機関・データベースの一覧

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

CiNii Research
検索サービス
紙
連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
この本の所蔵を確認

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別: 図書
ISBN: 081944846X
ISSN（シリーズ）: 0277-786X
タイトル: Process and materials characterization and diagnostics in IC manufacturing : 27-28 February 2003 : Santa Clara, California, USA. : Feb 2003, Santa Clara, CA.
シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 5041
タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 5041.
著者標目: Tobin, Kenneth W.
Emami, Iraj.
出版事項: Bellingham : SPIE
出版年月日等: c2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: x, 222 p. : ill. (some col.) ; 28 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses.
Integrated circuits -- Defects -- Analysis -- Congresses.
Semiconductors -- Design and construction -- Congresses.
Semiconductor wafers -- Defects -- Analysis -- Congresses.
Intergrated circuits industry -- Quality control -- Congresses.
Quality control -- Congresses.
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-04-489
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004205047
http://id.ndl.go.jp/bib/000004205047
RLIN番号: GAEGO52842148-B
整理区分コード: 215