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図書
光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題 (フォーカスレポート = Focus report ; 2)
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光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題
(フォーカスレポート = Focus report ; 2)
国立国会図書館請求記号
ND386-H40
国立国会図書館書誌ID
000004205542
資料種別
図書
著者
東木達彦 著
出版者
EDリサーチ社
出版年
2002.7
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
76枚 ; 26cm
NDC
549.7
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
図書
ISBN
4-901790-10-2
タイトル
光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題
タイトルよみ
ヒカリ リソグラフィ ギジュツ : ジッセンテキ キソ ト カダイ
著者・編者
東木達彦 著
シリーズタイトル
フォーカスレポート = Focus report ; 2
著者標目
東木, 達彦
ヒガシキ, タツヒコ (
00923884
)
典拠
出版事項
東京 : EDリサーチ社
出版年月日等
2002.7
出版年(W3CDTF)
2002
数量
76枚
大きさ
26cm
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
件名標目
リソグラフィー
リソグラフィー (
00576369
)
典拠
NDC9版
549.7 : 電子工学
NDLC
ND386
対象利用者
一般
入手条件・定価
2500円
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
ND386-H40
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000004205542
http://id.ndl.go.jp/bib/000004205542
全国書誌番号
20454744
目録規則
日本目録規則1987年版改訂版
整理区分コード
111
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