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光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題 (フォーカスレポート = Focus report ; 2)

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光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題

(フォーカスレポート = Focus report ; 2)

Call No. (NDL)
ND386-H40
Bibliographic ID of National Diet Library
000004205542
Material type
図書
Author
東木達彦 著
Publisher
EDリサーチ社
Publication date
2002.7
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
76枚 ; 26cm
NDC
549.7
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
ISBN
4-901790-10-2
Title
光リソグラフィ技術 : 実践的基礎と課題
Title Transcription
ヒカリ リソグラフィ ギジュツ : ジッセンテキ キソ ト カダイ
Author/Editor
東木達彦 著
Series Title
フォーカスレポート = Focus report ; 2
Author Heading
東木, 達彦 ヒガシキ, タツヒコ ( 00923884 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
東京 : EDリサーチ社
Publication Date
2002.7
Publication Date (W3CDTF)
2002