Nondestructive evaluation and reliability of micro- and nanomaterial systems : 18-19 March 2002 : San Diego, USA. : 1st conference on nondestructive evaluation and reliability of micro- and nanomaterials systems : Mar 2002, San Diego, CA.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819444510
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Nondestructive evaluation and reliability of micro- and nanomaterial systems : 18-19 March 2002 : San Diego, USA. : 1st conference on nondestructive evaluation and reliability of micro- and nanomaterials systems : Mar 2002, San Diego, CA.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4703
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4703.
• 著者標目: Meyendorf, Norbert.; Baaklini, George Y.; Michel, Bernd.
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2002.
• 出版年（W3CDTF）: 2002
• 数量: ix, 228 p. : ill. ; 28 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Nanostructure materials -- Testing -- Congresses.; Microelectromechanical systems -- Evaluation.; Microelectromechanical systems -- Reliability.; Non-destructive testing -- Congresses.; Surfaces (Technology) -- Congresses.; Quality control -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and author index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-3943
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004219618; http://id.ndl.go.jp/bib/000004219618
• RLIN番号: NYCGAUX1160-B
• 整理区分コード: 215