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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スパッタ マク ノ タイセキ ト キンゾク マスク ノ ネツ ヘンケイ ニ カンスル シミュレーション カイセキ
- 著者・編者
- 吉澤壽夫 [著]
- 著者標目
- 吉澤, 壽夫 ヨシザワ, トシオ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 富山大学
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