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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スパッタ マク ノ タイセキ ト キンゾク マスク ノ ネツ ヘンケイ ニ カンスル シミュレーション カイセキ
- Author/Editor
- 吉澤壽夫 [著]
- Author Heading
- 吉澤, 壽夫 ヨシザワ, トシオ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2002
- Publication Date (W3CDTF)
- 2002
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 富山大学