Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A. : symposium C "silicon front-end junction formation technologies" : 2002 MRS spring meeting : Apr 2002, San Francisco, CA. (Materials Research Society Symposia Proceedings ; 717)

Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A. : symposium C "silicon front-end junction formation technologies" : 2002 MRS spring meeting : Apr 2002, San Francisco, CA.

(Materials Research Society Symposia Proceedings ; 717)

国立国会図書館請求記号: M17-03-4531
国立国会図書館書誌ID: 000004233918

資料種別: 図書

著者: Downey, Daniel F.

出版者: Materials Research Society

出版年: c2002.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: xi, 312 p. : ill. ; 24 cm.

NDC: -

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一般注記：: Papers.

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
ISBN: 1558996532
タイトル: Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A. : symposium C "silicon front-end junction formation technologies" : 2002 MRS spring meeting : Apr 2002, San Francisco, CA.
シリーズタイトル: Materials Research Society Symposia Proceedings ; 717
タイトル標目: Materials Research Society symposia proceedings ; v. 717.
著者標目: Downey, Daniel F.
出版事項: Warrendale : Materials Research Society
出版年月日等: c2002.
出版年（W3CDTF）: 2002
数量: xi, 312 p. : ill. ; 24 cm.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
件名標目: Semiconductors -- Junctions -- Congresses.
LCC: TK7871.85
DDC: 621.3815/282
NDLC: M17
一般注記: Papers.
書誌注記: Includes bibliographical references and indexes.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: M17-03-4531
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000004233918
http://id.ndl.go.jp/bib/000004233918
LC control number: 2002029523
https://lccn.loc.gov/2002029523
RLIN番号: CTYA6012247-B
整理区分コード: 215