Micromachining and microfabrication process technology and devices : 7-9 November 2001 : Nanjing, China. : Nov 2001, Nanjing, China.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0819443409
• ISSN（シリーズ）: 0277-786X
• タイトル: Micromachining and microfabrication process technology and devices : 7-9 November 2001 : Nanjing, China. : Nov 2001, Nanjing, China.
• シリーズタイトル: SPIE Proceedings ; 4601
• タイトル標目: Proceedings of SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 4601.
• 著者標目: SPIE - International Society for Optical Engineering.; Tien, Norman C.; Huang, Qing-An.; Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices Conference (2001 : Nanjing, Jiangsu Sheng, China)
• 出版事項: Bellingham : SPIE
• 出版年月日等: c2001.
• 出版年（W3CDTF）: 2001
• 数量: xi, 440 p. : ill. ; 30 cm.
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Micromachining -- Technological innovations -- Congresses.; Microfabrication -- Technological innovations -- Congresses.; Microelectromechanical devices -- Technological innovations -- Congresses.; Detectors -- Technological innovations -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; "... contributed papers of the Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices conference at the International Symposium on Optoelectronics and Microelectronics, " -- introd.
• 書誌注記: Includes bibliographical references and auhor index.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-03-4727
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000004243969; http://id.ndl.go.jp/bib/000004243969
• RLIN番号: CTYAFPK1088-B
• 整理区分コード: 215